车规级碳化硅芯片产线

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车规级碳化硅芯片产线

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基本半导体车规级碳化硅芯片产线位于深圳市光明区,厂区面积13000平方米,洁净室面积超过4000平方米。产线配备光刻、氧化、激活、注入、薄膜、刻蚀等130余台专业设备,主要产品为6英寸碳化硅MOSFET晶圆,每年可保障约50万辆新能源汽车的相关芯片需求。

基本半导体通过打造垂直整合制造模式,加快设计、制造协同迭代,同时推动先进工艺技术开发、开展国产设备材料验证、打造研发制造人才培养平台,形成具有自主知识产权的下一代碳化硅器件核心技术,助力国产车规级碳化硅芯片供应链实现自主可控。


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先进沟槽工艺开发平台国产设备材料验证平台研发制造人才培养平台打造垂直整合制造模式

 

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