基本半导体车规级碳化硅芯片产线位于深圳市光明区,厂区面积13000平方米,洁净室面积超过4000平方米。产线配备光刻、氧化、激活、注入、薄膜、刻蚀等130余台专业设备,主要产品为6英寸碳化硅MOSFET晶圆,每年可保障约50万辆新能源汽车的相关芯片需求。
基本半导体通过打造垂直整合制造模式,加快设计、制造协同迭代,同时推动先进工艺技术开发、开展国产设备材料验证、打造研发制造人才培养平台,形成具有自主知识产权的下一代碳化硅器件核心技术,助力国产车规级碳化硅芯片供应链实现自主可控。
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